SONIC超聲波微量液體流量計的特點

用于

IPA、純水和化學(xué)液體等半導(dǎo)體制造過程中微觀區(qū)域的流量管理

測量1m/min

以上的微小流量·通過數(shù)字信號處理

高精度測量微小流量·傳感器部具有與流體的非接觸式結(jié)構(gòu)

·范圍廣

產(chǎn)品規(guī)格

微液體流量計(傳感器分離型)

微LF-300S

型 μLF-300S+μLT-8|(1/8英寸)或μLF-300S +μLT-41(1/4英寸)測量原理 超聲波傳播時間差法

被測液體 純水、水溶液、各種化學(xué)溶液

*請?zhí)崆皺z查水以外的液體

自適應(yīng)流體溫度范圍 如果您在 15C-80C

*60C 或更高溫度下使用，請?zhí)崆皺z查

流體壓力 0.5MPa 以下

流體動力學(xué)粘度 100mm2/sec 或更小

流量范圍0mlmin~1000 ml/min(uLF-300S +μLT-81)0 mlmin~4000 mlmin (uLF-300S + uLT-41)

測量精度 ±0.5%RD(1/8英寸: 200~1000ml/min 條件: 常溫、恒溫水)

+1mlmin(1/8英寸:0~199mlmin)

±0.5%RD(1/4英寸:800~4000ml/min 條件:常溫、恒溫水)

+4mlmin (1/4英寸:0~799 毫升/分鐘)

重復(fù)性 ±0.2%(純品，液體溫度±0.5C，平均 30 秒)

權(quán)力 直流 24V ±10%

功耗 3.6W 或更低

重量 傳感器 240 克，探測器 70 克

尺寸WxHxD(mm)傳感器 97 x49 x127

探測器 90x25x20(不含管)

探測器

管材 PFA(含氟聚合物)

管徑 1/8 英寸外徑:3.17 毫米，內(nèi)徑:2.17 米，114 英寸外徑:6.35 米，內(nèi)徑:4.35 毫米結(jié)構(gòu) 相當于IP65

包含電纜 5m，連接器連接

Input 部分

數(shù)字輸出 4線 RS-422、4 線 RS-485

模擬輸出 4-20mA(瞬時流量)，負載電阻 500Ω 以下

積分脈沖輸出 1ch(集電極開路)

警報輸出 1ch(集電極開路)